El Oxford English Dictionary cita usos del meta prefijo como «más allá, sobre» (como la metaeconomía y la metafilosofía) que se remontan a 1917. Sin embargo, estas formaciones son paralelas al original «metafísica» y «metafísica», es decir, como prefijo de sustantivos generales (campos de estudio) o adjetivos. Siguiendo las citas del OED, comenzó a usarse con sustantivos específicos en conexión con la lógica matemática en algún momento antes de 1929. (En 1920, David Hilbert propuso un proyecto de investigación en lo que se llamó «metamatemáticas»).
Un comienzo notable La cita es el uso que hizo Quine en 1937 de la palabra «metateorema», donde meta- tiene el significado moderno de «una X sobre X». (Nótese que los usos anteriores de «metaeconomía» e incluso «metafísica» no tienen este doble concepto estructura – están sobre o más allá de X pero no constituyen en sí mismos una X).
Douglas Hofstadter, en su libro de 1979 Gödel, Escher, Bach (y en la secuela, Metamagical Themas), popularizó este significado El libro, que trata sobre la autorreferencia y los bucles extraños, y toca a Quine y su trabajo, fue influyente en muchas subculturas relacionadas con la informática y puede ser responsable de la popularidad del prefijo, por su uso como un solo término, y por las muchas acuñaciones recientes que lo usan. Hofstadter usa meta como una palabra independiente, como adjetivo y como preposición direccional («ir a meta», un término que acuña para el viejo truco retórico de llevar un debate o análisis a otro nivel de abstracción, como cuando alguien dice «Este debate no va a ninguna parte»). Este libro también puede ser responsable de la asociación de «meta» con bucles extraños, en contraposición a la mera abstracción. La oración «Esta oración contiene treinta y seis letras» y la oración que la inserta son ejemplos de «metasentencias» que se refieren a sí mismas de esta manera.