Oxfordin englanninkielisessä sanakirjassa mainitaan meta-etuliitteen käyttö ”ulkopuolella, noin” (kuten meta-taloustiede ja metafilosofia) vuoteen 1917 asti. Nämä muodostelmat ovat kuitenkin rinnakkaisia alkuperäiseen ”metafysiikkaan” ja ”metafyysiseen”, toisin sanoen etuliitteenä yleisiin substantiiveihin (tutkimusalat) tai adjektiiveihin. OED-viittausten perusteella sitä alettiin käyttää matemaattisen logiikan yhteydessä tiettyjen substantiivien kanssa joskus ennen vuotta 1929. (Vuonna 1920 David Hilbert ehdotti tutkimusprojektia, jota kutsuttiin metamatematiikaksi.)
Huomattava aikaisin lainaus on Quinen vuonna 1937 käyttämä sana ”metateoreemi”, jossa meta on nykyaikainen merkitys ”X X: stä”. (Huomaa, että aikaisemmilla ”meta-taloustieteen” ja jopa ”metafysiikan” käytöillä ei ole tätä kaksinkertaista käsitteellistä rakenne – ne ovat X: n yläpuolella tai sen ulkopuolella, mutta eivät itse muodosta X: tä.
Douglas Hofstadter suositteli tätä merkitystä vuonna 1979 julkaisemassaan kirjassa Gödel, Escher, Bach (ja jatko-osassa Metamagical Themas). Kirjassa, joka käsittelee itseviitteitä ja outoja silmukoita ja koskettaa Quineä ja hänen töitään, oli vaikutusvalta monissa tietokoneisiin liittyvissä alakulttuureissa ja se voi olla vastuussa etuliitteen suosiosta, sen käytöstä soolona termi, ja monille viimeaikaisille kolikoille, joissa sitä käytetään. Hofstadter käyttää metaa itsenäisenä sanana, adjektiivina ja suuntaviitteenä (”menevä meta”, termi, jonka hän kolikoi vanhalle retoriselle temppulle, jonka mukaan keskustelu tai analyysi viedään uudelle abstraktiotasolle, kuten silloin kun joku sanoo ”Tämä keskustelu ei ole menossa minnekään”). Tämä kirja voi myös olla vastuussa ”metan” yhdistämisestä outoihin silmukoihin, toisin kuin vain abstraktio. Lause ”Tämä lause sisältää 36 kirjainta” ja sen upottava lause ovat esimerkkejä ”metasentensseistä”, jotka viittaavat itseensä tällä tavalla.